油式真空泵油蒸汽返流，污染仪器腔体，造成检测失真、镀膜产品报废。
传统泵噪音振动大，放置实验室或集成在设备机柜，干扰仪器与作业人员。
旋转轴封易磨损，介质向外泄漏，真空度不稳定，稀有气体无法回收。
易损件更换要返厂拆机，设备停机周期长，影响精密仪器产线实验进度。
动静涡旋非接触干式压缩；金属波纹管静态密封，无旋转轴封，杜绝工艺介质外泄污染。
涡旋连续平稳压缩，气体脉动小；整机动平衡优化，噪音振动低，适合实验室、仪器内置。
长效润滑轴承；维护仅更换涡旋顶部密封，无需特殊工具，操作员现场完成，不用返厂拆机。
中真空区间性能优异，无油不污染腔体，适配涡轮分子泵、氦质谱检漏仪整套高真空系统。
WX0020H/WX0040H/WX0080H全系列，单机或作为设备内置真空源均可。
涡旋顶部密封、过滤器原厂现货；检漏、气体回收成熟经验，选型、故障排查、返厂维保全套支持。
| 电机功率 | 极限真空 | 额定电压 | 额定流量 | 额定电流 | 产品型号 | 行业应用 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.75 Kw | 5.0 Pa | △200-240V/Y345-415V | 20 m3/h | 3.8△/2.2Y | WX 0020H |
真空镀膜 |
| 1.50 Kw | 5.0 Pa | △200-240V/Y345-415V | 40 m3/h | 7.5△/4.3Y | WX 0040H |
真空镀膜 |
WX干式涡旋真空泵基于单面涡旋技术，融合干式压缩与全封闭结构。泵体由固定涡旋盘与动涡旋盘组成。
电机驱动动涡旋盘做偏心公转，动涡旋盘在固定涡旋盘内部轨道运动；持续形成、移动、缩小新月形压缩腔；气体由入口吸入，经涡旋腔压缩，从中心排气口排出。
金属波纹管静态密封，无旋转轴封，防止工艺气体外泄；轴承长效润滑；维护仅需更换涡旋顶部密封件，无需特殊工具，操作员现场即可完成。
整机低噪音低振动，是中真空分析仪器、科学设备久经验证的干式真空解决方案。
莱诺WX干式涡旋真空泵，干式无油、低噪低振，面向精密中真空场景，广泛用于仪器、半导体、气体回收等洁净工艺。
涡旋真空泵采用单面涡旋干式压缩，全密封无轴封结构，输出洁净中真空，几乎免维护运行。
适合氦检漏、分子泵前级预抽、稀有气体回收、精密样品处理，可单机，也可嵌入成套设备作为内置真空源。
整理真空泵相关技术参考资料，供选型、设备调试、故障排查查阅。
晶圆传输、镀膜、刻蚀等环节需洁净真空，无油干式避免油污染。
PVD/CVD、光学镀膜要求高洁净，涡旋泵作前级稳定抽气。
注液、干燥、封装等工序忌油，涡旋真空泵保障电芯品质。
冻干、无菌包装、实验室抽滤需无油洁净真空，符合GMP。
抽真空封口、气调包装，无油泵避免油雾污染食品。
镜片镀膜、电子元件吸附搬运，洁净真空提升良率。
分析仪器、分子泵前级、真空实验，低噪无油稳定运行。
气体采样、真空脱气、检漏分析，洁净真空保障数据准确。
为PVD/CVD、溅射、蒸发提供洁净前级真空，避免油污染膜层。
半导体、玻璃、锂电极片吸附搬运，响应快、真空稳、不伤工件。
食品、医药、电子元件抽真空封口，无油洁净，延长保质期。
医药、食品冻干前抽真空，无油涡旋泵配合冷阱，保障制品活性。
双级涡旋泵作分子泵前级，极限真空高，低振动、低返油。
管道、容器、密封件检漏，抽速稳定，帮助快速达到检测真空。
胶水、树脂、液体脱泡，无油洁净，不影响材料性能。
电子元件、变压器、材料真空干燥与浸渍，去气彻底无油污。
使用限制：涡旋真空泵不适合抽取大量粉尘、强腐蚀性介质、大量可凝水汽；前端建议配置过滤器保护泵腔；不可抽取高浓度氧气介质。
选型建议：精密仪器、氦检漏、分子泵前级优先选用涡旋真空泵；粗真空吸附场景可选用无油碳片旋片真空泵。
涡旋泵动静涡旋非接触，无碳片消耗件，振动噪音更低，全密封无轴封泄露，更适合精密仪器检漏分子泵前级；碳片旋片依靠石墨碳片摩擦，碳片属于消耗件，更适合CNC、包装吸附粗真空工况。
WX系列干式涡旋泵就是涡轮分子泵理想干式前级泵，无油不会污染分子泵与腔体，广泛用于高真空分析设备。
不是；主要维护点为涡旋顶部密封件，可现场更换无需返厂；定期检查进气过滤器；轴承长效润滑，按周期巡检即可。
非常适合，全静态密封无轴封泄漏；泵腔干式无油，不会污染氦气、各类稀有气体，保障回收气体纯净度。
原厂涡旋顶部密封、进气过滤器配件齐全；提供技术咨询、故障排查、返厂维保。
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