优势
市场由现代通信工具驱动,如智能手机、平板电脑、电视平板显示器或或物联网。无论是离子注入机、刻蚀还是PECVD设备 — 莱诺将为您找到高质量和高可靠性真空解决方案,以获得最佳性能。
半导体加工
市场由现代通信工具驱动,如智能手机、平板电脑、电视平板显示器或或物联网。无论是离子注入机、刻蚀还是PECVD设备 — 莱诺将为您找到高质量和高可靠性真空解决方案,以获得最佳性能。我们继续革新领先技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
平版印刷
平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空泵。LEYNOW可以让您有效应对这两种应用。
化学气相沉淀
化学气相沉淀(CVD)系统具有多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程还以不同的压力和流量状态运行,其中的许多状态都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵和气体减排系统以便最大程度地延长我们产品的维修间隔并延长您制程的正常运行时间。
刻蚀
由于许多半导体的特征尺寸非常精细,刻蚀制程变得越来越复杂。此外,MEMS设备和3D结构的扩增对于具有高纵横比的结构越来越多地使用硅刻蚀制程。传统上来说,可以将刻蚀制程分组到硅、氧化物和金属类别。由于现今的设备中使用更多硬遮罩和高k材料,这些类别之间的界限已经变得非常模糊。现今的设备中使用的某些材料能够在刻蚀过程中顽强地抵抗蒸发,从而导致在真空组件内沉积。如今的制程确实变得比数年前更具有挑战性。我们密切关注行业和制程变化并通过产品创新与其保持同步,从而实现一流的性能。
离子注入
离子注入工具在前段制程中仍然具有重要的作用。与离子注入有关的真空挑战并未随着时间的推移而变得更加容易,而且我们认识到了在嘈杂的电子环境中操作真空泵时所面对的挑战。我们从未满足于绝对最低性能测试符合既定的电磁抗扰性测试标准。我们知道,注入工具上使用的泵将需要更高的抗扰性和特别的设计特性,以确保注入工具的高电压段不会干扰泵的可靠性。
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莱诺集团在内地的主要服务商,公司集研发、销售真空泵并提供真空领域解决方案的高新技术企业,为广大用户提供最可靠的、安全易用的真空设备产品及优质专业的服务,帮助全球客户和合作伙伴取得成功。公司主要产品有:旋片真空泵、螺杆真空泵、罗茨真空泵、活塞真空泵等。
真空烤箱真空泵的注意事项:真空泵严禁抽除易燃,易爆及有毒的气体;真空泵不得抽除对金属有腐蚀性及能与泵油起化学反应的气体;真空泵不得抽除含有颗粒尘埃及大量水蒸气的的气体;被抽气体的温度不得超过80℃,使用环境温度为了-5℃-60℃;真空泵不得作压缩泵及输送泵使用;真空泵严禁无油运转;泵运行时,严禁堵塞排气口;①真空泵使用......
风刀从工作模式上分为标准风刀和超级风刀两类,标准风刀的风幕偏转90度后吹出,超级风刀的风幕水平吹出。旋涡气泵以及多段式高压风机通过风刀在工业领域可以实现大量吹风除水、吹风除尘等应用,如吹除钢板,铝合金型材等平面上的灰尘、水分,吹除饮料瓶、包装罐等瓶体表面的水分,吹除产品表面的杂质灰尘,残液,外包装上的水分,以及传送带清......
由于泵内流体和泵外大气间存在着压差,为了防止浆体外泄,因此泵在运行时需设密封装置,称其为轴封。常用的轴封种类有:填料密封、机械密封、动力密封以及浮动密封等形式。从目前各行业用泵情况看,机械密封已经成为各行业通用的密封形式,并且该密封形式运行平稳,...
造纸真空系统中最常见的真空发生设备-旋片真空泵。通过介绍它的发展历史、工作原理、结构特征和旋片真空泵在纸厂中的应用特点,总结其优点,希望能给造纸行业的相关技术人员选用真空发生设备时提供参考。目前,使用的真空设备,在造纸行业中,水环真空泵(压缩机)是能...
耐腐蚀隔膜真空泵是一种常用的实验室设备,主要应用于医疗医药产品分析、精细化工、生化制药、食品检验技术等领域中。一、耐腐蚀隔膜真空泵使用步骤为: 1、将真空泵平稳地放在操作台面上。 2、将过滤装置或需抽真空的装置和真空泵紧密连接起来,应使系统具有良好的气密性。可在真空泵的进出口和过滤器的出气口外层抹上酒精等润滑剂,这......
旋片真空泵是一种常见的真空泵,它具有许多独特的特点和广泛的应用。在本文中,我们将探讨旋片真空泵的特点以及它的典型用途。旋片真空泵的特点之一是它的结构简单,由一个旋转的偏心轮和一组旋转的旋片组成。当偏心轮旋转时,旋片会向外伸展并贴附在泵壳内表面上,然后将气体吸入泵壳。当旋转的偏心轮将旋片带回到泵壳内部时,气体被压缩并排出......
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