优势
市场由现代通信工具驱动,如智能手机、平板电脑、电视平板显示器或或物联网。无论是离子注入机、刻蚀还是PECVD设备 — 莱诺将为您找到高质量和高可靠性真空解决方案,以获得最佳性能。
半导体加工
市场由现代通信工具驱动,如智能手机、平板电脑、电视平板显示器或或物联网。无论是离子注入机、刻蚀还是PECVD设备 — 莱诺将为您找到高质量和高可靠性真空解决方案,以获得最佳性能。我们继续革新领先技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
平版印刷
平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空泵。LEYNOW可以让您有效应对这两种应用。
化学气相沉淀
化学气相沉淀(CVD)系统具有多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程还以不同的压力和流量状态运行,其中的许多状态都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵和气体减排系统以便最大程度地延长我们产品的维修间隔并延长您制程的正常运行时间。
刻蚀
由于许多半导体的特征尺寸非常精细,刻蚀制程变得越来越复杂。此外,MEMS设备和3D结构的扩增对于具有高纵横比的结构越来越多地使用硅刻蚀制程。传统上来说,可以将刻蚀制程分组到硅、氧化物和金属类别。由于现今的设备中使用更多硬遮罩和高k材料,这些类别之间的界限已经变得非常模糊。现今的设备中使用的某些材料能够在刻蚀过程中顽强地抵抗蒸发,从而导致在真空组件内沉积。如今的制程确实变得比数年前更具有挑战性。我们密切关注行业和制程变化并通过产品创新与其保持同步,从而实现一流的性能。
离子注入
离子注入工具在前段制程中仍然具有重要的作用。与离子注入有关的真空挑战并未随着时间的推移而变得更加容易,而且我们认识到了在嘈杂的电子环境中操作真空泵时所面对的挑战。我们从未满足于绝对最低性能测试符合既定的电磁抗扰性测试标准。我们知道,注入工具上使用的泵将需要更高的抗扰性和特别的设计特性,以确保注入工具的高电压段不会干扰泵的可靠性。
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莱诺集团在内地的主要服务商,公司集研发、销售真空泵并提供真空领域解决方案的高新技术企业,为广大用户提供最可靠的、安全易用的真空设备产品及优质专业的服务,帮助全球客户和合作伙伴取得成功。公司主要产品有:旋片真空泵、螺杆真空泵、罗茨真空泵、活塞真空泵等。
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高压风机是一种使用非常广泛的设备,给我们的生产带来了很大的帮助。而高压风机电机烧毁,是使用高压风机过程中常见的故障。而引起电机烧毁主要有:电机缺相,电机超负荷运转,机械故障等引起的。今天,本文将着重从电气角度分析电机绕组烧损的原因,并提出相应的处理方法。一、过载运行1.故障现象高压风机长期处于高压力区运行,导致电机轴功......
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罗茨风机在输送时的注意事项:1.为防止风机在运输过程中振动损坏,设备上需采取安全措施。为此,须有明显标志,以便设备交付前拆除2.包装辅助管路的所有开口,在发运之前均应按照用户要求加以封闭。对于螺孔不得使用木塞。3.当风机所输送气体接触部位要求无油时,...
一、 CNC精雕机中真空系统的应用CNC精雕机是一种高精度的机械设备,广泛应用于模具、电子、工艺品、建筑装饰等行业。在CNC精雕机中,真空系统是一个非常重要的组成部分,它可以用于固定工件、清除碎屑和降低噪音等方面。以下是CNC精雕机中真空系统的应用:1 固定工件CNC精雕机需要将工件固定在工作台上,以确保加工过程中的稳......
罗茨真空泵的结构特点:1.在较宽的压力范围内有较大的抽速2.转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳,转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速3.泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的...
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