优势
市场由现代通信工具驱动,如智能手机、平板电脑、电视平板显示器或或物联网。无论是离子注入机、刻蚀还是PECVD设备 — 莱诺将为您找到高质量和高可靠性真空解决方案,以获得最佳性能。
半导体加工
市场由现代通信工具驱动,如智能手机、平板电脑、电视平板显示器或或物联网。无论是离子注入机、刻蚀还是PECVD设备 — 莱诺将为您找到高质量和高可靠性真空解决方案,以获得最佳性能。我们继续革新领先技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
平版印刷
平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空泵。LEYNOW可以让您有效应对这两种应用。
化学气相沉淀
化学气相沉淀(CVD)系统具有多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程还以不同的压力和流量状态运行,其中的许多状态都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵和气体减排系统以便最大程度地延长我们产品的维修间隔并延长您制程的正常运行时间。
刻蚀
由于许多半导体的特征尺寸非常精细,刻蚀制程变得越来越复杂。此外,MEMS设备和3D结构的扩增对于具有高纵横比的结构越来越多地使用硅刻蚀制程。传统上来说,可以将刻蚀制程分组到硅、氧化物和金属类别。由于现今的设备中使用更多硬遮罩和高k材料,这些类别之间的界限已经变得非常模糊。现今的设备中使用的某些材料能够在刻蚀过程中顽强地抵抗蒸发,从而导致在真空组件内沉积。如今的制程确实变得比数年前更具有挑战性。我们密切关注行业和制程变化并通过产品创新与其保持同步,从而实现一流的性能。
离子注入
离子注入工具在前段制程中仍然具有重要的作用。与离子注入有关的真空挑战并未随着时间的推移而变得更加容易,而且我们认识到了在嘈杂的电子环境中操作真空泵时所面对的挑战。我们从未满足于绝对最低性能测试符合既定的电磁抗扰性测试标准。我们知道,注入工具上使用的泵将需要更高的抗扰性和特别的设计特性,以确保注入工具的高电压段不会干扰泵的可靠性。
文章来源:https://www.leynow.com/applications/254.html
声明:文章如需转载请注明来源。本站部分文章和图片来源网络编辑,如存在版权问题请及时沟通处理。
莱诺集团在内地的主要服务商,公司集研发、销售真空泵并提供真空领域解决方案的高新技术企业,为广大用户提供最可靠的、安全易用的真空设备产品及优质专业的服务,帮助全球客户和合作伙伴取得成功。公司主要产品有:旋片真空泵、螺杆真空泵、罗茨真空泵、活塞真空泵等。
无油真空泵广泛应用于制药、化工、食品等行业的真空输送料、提炼、蒸馏、尾气回收等场合,具有振动小、噪音低、外形简洁美观、操作维修方便、运行成本低等特点无油真空泵在日常运行操作中,该做到以下几点,从而达到维护的作用:1、应具有充分良好的通风条件及低于40...
小型真空泵也就是微型真空泵,因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。小型真空泵(即微型真空泵)是指:具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个,并且在进口处能够持续形成真空或负压;排气嘴处形成微正压;工作介质主要为气体,体积小巧的一种仪器。小型真空泵可用于空调,制冷设备的修理,医疗仪器的抽吸装置,印刷机械,真空包装,真空吸塑......
在实际操作中,我们会发现旋片真空泵常见的故障类型是有很多种的,可以把故障分为运转故障和性能故障。旋片真空泵维修技巧其实就是一旦真空泵出现故障现象,我们需要分析其故障原因,根据这个问题、原因,从而对其进行合适的真空泵维修,这个是非常关键的,需要引起大家的重视,如果不是因为这个原因造成的故障,你却使用这个故障原因对应的维修......
刹车真空泵,也叫刹车助力泵,是在制动过程中,控制进入助力泵的真空,使膜片移动,并通过联运装置利用膜片上的推杆协助人力去踩动和推动制动踏板,从而对驾驶员踩踏板的力产生放大的效果刹车真空泵漏气的表现我们可以通过一个小实验进行验证,打开发动机,运行1~2分...
对于医疗事业,对于医院和医疗卫生机构来说,配备一套安全可靠的设备至关重要。莱诺真空泵为医疗事业提供了高效率的解决方案。进口真空泵在医疗器械中的应用主要有:蒸汽灭菌、呼吸装置、气褥、防护服、牙科治疗仪、中央真空系统等。莱诺科技旗下的真空泵产品主要有无油...
活塞式真空泵是一种常见的真空泵,它通过活塞往返运动来抽取气体,常用于实验室、工业生产和医疗等领域。但是,很多人想知道活塞式真空泵是否可以用于家用空调抽真空。本文将对此进行探讨。家用空调抽真空的原因在安装或维修家用空调时,通常需要抽取空调管路中的气体,以确保管路内部的干燥和无气体。这个过程称为抽真空。抽真空的目的是去除管......
请认真填写需求信息,我们会在24小时内与您取得联系